Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions introducerer CenterLine CNR-serien
Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions – en del af den globale Busch Group – præsenterer CenterLine CNR-serien, en udvidelse af den eksisterende CenterLine-serie af vakuummålere, der er særligt velegnet til de hårde driftsbetingelser i Semicon-industrien.
CenterLine CNR-serien består af analoge kapacitive vakuummålere, der kan måle over fire dekader i fuld skala mellem 0,1 og 1000 Torr. CNR-serien fås i opvarmede og uopvarmede varianter og udvider den eksisterende CenterLine-produktfamilie, hvor den leverer pålidelige målinger selv under de hårdeste driftsbetingelser. Ligesom de andre CenterLine-målere giver CNR-serien et optimalt forhold mellem pris og ydelse og muliggør nem integration i eksisterende installationer med måleteknologi fra andre producenter.
CNR-målere anvendes ideelt i kombination med ventiler til trykkontrol og kan anvendes til en lang række anvendelser i Semicon-industrien, såsom tørætsning, CVD- og ALD-processer. De kan også implementeres til analyser, R&D og forskellige andre brancher. I denne udvidelse af produktserien findes der fem forskellige versioner: 36x, 37x, 38x, 39x og 30x. Alle produkter i serien er SEMI S2-kompatible.
Til processer ved alle temperaturer
CenterLine CNR-serien giver en række valgmuligheder til processer ved forskellige temperaturer. 36x er en uopvarmet variant til pålidelige målinger ved omgivende temperatur med en nøjagtighed på 0,2 %. Selvopvarmende versioner fås også ved 45, 100, 160 og 200 °C. 45 °C-varianten giver en nøjagtighed på 0,15 %, hvilket gør den fremragende til kalibreringslaboratorier og kvalitetskontrol. Med en nøjagtighed på 0,4 % giver de andre selvopvarmende versioner mulighed for højere nøjagtighed af aflæsninger i højtemperatur- eller varmgasprocesser end sammenlignelige målere.
Modstandsdygtighed over for korrosion og kontaminering
En membran-sensor udgør hjertet i enheden til måling. Det er beskyttet af en stabil og modstandsdygtig keramisk skærm, der er coated ved atomlagsaflejring (ALD). Afskærmningen beskytter sensoren både mod eksponering for de høje temperaturer i procesgasserne og mod potentiel korrosion. Dette sikrer i sidste ende højere pålidelighed og nøjagtighed samt længere sensorlevetid, selv under barsk plasma, på grund af minimeret kontaminering. Da sensorens afvigelse også reduceres, er der behov for kalibrering mindre hyppigt, hvilket reducerer de samlede omkostninger ved ejerskab.
Filterindstilling for trykkontrol (p-kontrol)
Målerne i CenterLine CNR-serien er udstyret med en speciel filterindstilling, der kaldes “p-kontrol”, eller trykkontrol. Denne indstilling er designet til at være hurtigt og tilpasningsdygtig, hvilket gør det muligt for måleren at reagere hurtigere på trykændringer samt give nøjagtig og jævn trykkontrol. Denne funktion er særlig effektiv i kombination med en ventil til trykkontrol.
Den nye CenterLine CNR-serie af vakuummålere giver pålidelig måling over 4 årtier i hele skalaen fra 0,1 – 1000 Torr ved forskellige selvopvarmende temperaturniveauer. Billede: Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions
